(Last Update 2005.6.13)
EMF用ガスパネル:マスフローコントローラー（MFC）流量調整器の使用法など
MFCは，Ar，H2，O2用を購入
MFCの設定変更により他のガスに対しても制御可能となる。
この設定変更の値をコンバージョンファクター(C.F.)と呼ぶ。設定を変更しないでも，表示値にC.F.値を乗除し制御することも可能です。
事例：Ar用のMFCにN2を流す場合には，C.F.に換算すれば良い。
換算方法は「計算表」
を参考にしてください。
C.F.値の情報現状：N2ガスに対するH2，O2，Arについて
ＳＥＣ－Ｅ４０のＣ．Ｆ．値
①Ｈ２＝１.０１
②Ｏ２＝０.９９
③Ａｒ＝１.４０
これらのガス（N2，H2，O2，Ar及びその混合ガス）以外を流す際は，メーカー問い合わせる。
アズマテクノス羽賀さん経由で対応していただける。
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酸素除去筒について
酸素除去筒の継手がＳＷＬタイプとなっている。
ガスラインに接続するため，「ＶＣＲ－ＳＷＬ変換」を酸素除去筒両端につけたものを装着する。
図面は原田まで。作製依頼はシールド 小川専務まで
