用語ヨウゴ	特徴トクチョウなど	注意チュウイ事項ジコウ
	ロータリーポンプ(油回転ポンプ)	排気限界は,1 Pa程度まで。	排気ハイキ限界ゲンカイは油の蒸気圧ジョウキアツによる。従シタガって，排気限界で長時間排気すると，真空容器内は油の蒸気で満たされることになる。
	１気圧の圧力差	1cm2 に約 1kg の力が掛かる。 直径 20cm のフランジでは， 1 トンになる。	円筒や球形の場合は，構造的に力が分散する。ステンレスの場合，3〜4mm の厚さでも変形することはない。 角チャンバーの場合は，板を厚くするとともにリブを入れないと変形する。
	黄銅は真空シンクウ装置ソウチ内ナイに持モち込コまない	亜鉛の蒸気圧が非常に高い。黄銅の温度が上昇すると，黄銅から亜鉛が飛び出し真空装置を汚損する。	ねじ類に注意チュウイ。通常，ステンレス製ねじを使用する。電気製品に使ツカわれるネジには，黄銅にニッケルメッキしたものが多オオく，一見イッケン，見分けにくい。 ワイヤーカット加工など試料シリョウ作製サクセイを通トオして，黄銅が残留することがある。
	試料は素手で触サワらない	試料の脱脂・脱水はしっかり行オコナいます。	1気圧を 100% とすれば，1Pa は0.1ppm に相当する。1気圧の世界で僅ワズかな量でも，真空状態ジョウタイで気体になると，真空度を支配するほどの量になる。
	ICFガスケットの再使用 （銅ドウガスケット）	使い方や用途により，数回程度の再利用が可能。	交換のめやす：フランジ間の隙間。隙間があれば再使用可能。最大 5 回程度。
	ICFフランジをつぶしたとき PCTの試料容器などに使用シヨウ	IPD ガスケットを使ツカう。	エッジ外周の斜辺を使うガスケット。
	真空漏れ検査(リークチェック)	リーク量が多い場合	目と音で確認。シューとかスーとか空気が入る音がする事が多い。
		電離真空計	アルコールがリーク箇所を塞いだ瞬間は，圧力が下がるが，その直後に真空容器に入り，瞬間的に蒸発膨張し，圧力が上がる。
		ヘリウムリークデテクター	低温テイオンセンターから借用シャクヨウ。（直スぐ返却ヘンキャクのこと）
		補足ホソク	試料やチャンバー内部からの脱ガスをリークと見誤る場合がある。
	管用ネジ	機械的接合を主目的とする管用平行ネジ（PF） ネジ部の高密性を主目的とする管用テーパーネジ(2種類) 中真空の領域まで	テーパーネジ 山が60°のアメリカ規格（NPT） 山が55°のISO規格（PT）	NPTとPTを合わせる時は、タップ（別売）又はダイスでの加工が必要。 気密性を保つ為にテフロンテープを2巻マ程度テイド巻マき付ツける。 締付は，テーパー形状の為ネジ山はすべて奥まで入ハイらない。
	Swagelok	Crawford Fitting社の商品名	高圧から高真空までの領域 安価で使ツカいやすい	フロントフェルールの円錐面をボディ内面に密に接触させることで気密キミツ性セイを確保カクホ。 この接触させる力は，バックフェルールがフロントフェルールをボディに押しつけることによって得ている。
	VCR	CAJON社の商品名	シール性能に優れている 超高真空系へのガス導入配管用継手
	JISフランジ	従来の型をＪＩＳフランジ	通常はＯリングでシール	高真空までの領域で広く用いられている配管用フランジ
	ISOフランジ	改訂後のＩＳＯ準拠のものをＩＳＯフランジ		高真空までの領域で広く用いられている配管用フランジ
	ConFlat Flange	Varian社の商品名	超高真空領域まで対応できる継手
	クランプ継ツ手テ	Leybold-Heraeus 社が開発した規格